用於FV-10-110/240小型真空幫浦的入口濾心

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用於FV-10-110/240小型真空幫浦的入口濾心:攔阻灰塵微顆粒。用於處理半導體較大尺寸矽晶圓的HEPA真空幫浦亦供應中。
此濾心設計用來連結FV-10-110/240小型真空幫浦以攔阻灰塵微顆粒 (長度: 60mm)


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