진공완드 / 진공펌프

진공완드
	적합한 밸브를 통환 탁월한 사물 흡입력* 상호부품 교환이 가능한 광범위한 선택 벨브타입: 폐쇄형 개방형 가변형 블로잉 기능 개방형 DuoVac 몸체 재료: 전도성 Nylon (흑색) Teflon(R) (백색) 길이: 약 185mm 완드 스탠드 교환 부품
*US Patent 4767142, Japanese Patents 1698352/1885465

Vacuum Wand search를 통해서 원하시는 진공 완드를 찾을 수 있습니다.

대 구경 반도체 웨이퍼를 위한 진공 완드

작업 중 완드 몸체 상에 있은 작은 구멍을 건드리지 마세요.

진공 펌프 FV-10-110
	최소 소음발생을 위한 설계 적용 진공 압력: -4 to -14kPa 유체율: 2.7 l/min 전압: 100-120 VAC 소모 전압: 5.0 W Duty 주기: 연속 보장 사용 시간 > 8760 시간 규격 (D x W x H): 155 x 72 x 54 mm 무게: 600 g 240VAC version (FV-10-240) 가능 정전기 방지용 그라운딩 세트 (보조품) ESD Safe 튜빙 (보조품) 내재 필터 (보조품)

대 구경 사이즈 반도체용 웨이퍼 핸들링을 위한 HEPA 진공 펌프

DuoVac용 진공 펌프 FV-W-110
블로잉 기능은 작고 가벼운 사물을 효과적으로 떼어주는 역할을 함.
	내부 와 외부에 장착된 HEPA 필터** 필터 windows*** 정전기 방지용 Nylon 몸체 흡입력: -30kPa (고정) 적용 블로잉 파워: 0-10kPa 유체율: 1.2 l/min 전압: 100-120 VAC 소모 전압: 5.0 W Duty 주기 : 연속 보장 사용시간 > 8760 시간 규격 (D x W x H): 137 x 88 x 85 mm 무게: 850 g 240VAC version (FV-W-240) 가능 PVC 이중 튜빙 (펌프와 함께 제공되지 않음) HEPA 필터 세트 (교환 부품)
**HEPA 필터는 0.3um이하의 모든 먼지 및 분진을 걸러줍니다.
***HEPA 필터 교환시기를 알려줌
이 펌프는 블로잉-기능 개방형하고만 호환되어서 작동됨.

규격은 권고 없이 변동 가능.

펌프로 먼지나 유체 흡입 금지.

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